Microlithography and metrology in micromachining - 23-24 October 1995, Austin, Texas
- Författare
- (Michael T. Postek, chair/editor)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 1995 | USA | 246 sidor. | 0-8194-2006-9 |